經(jīng)壓縮凈化過的壓縮空氣(PSA裝置壓力為P=0.6MPa)流經(jīng)裝有碳分子篩(CMS)的吸附塔,壓縮空氣自下而上流經(jīng)吸附塔,其間氧分子在碳分子篩表面吸附,氮?dú)鈩t由吸附塔的上端流出進(jìn)入氮?dú)饩彌_罐。經(jīng)過一定時(shí)間吸附后,塔中碳分子篩被所吸附的氧飽和需進(jìn)行再生,再生是通過停止吸附、降低吸附塔中的壓力來實(shí)現(xiàn)的。兩個(gè)吸附塔交替進(jìn)行吸附和再生,從而確保氮?dú)獾倪B續(xù)產(chǎn)生。